光學(xué)薄膜測量?jì)x是一款利用光譜相干度量學(xué)工作的非接觸型膜厚測量系統。因其將光源、分光光度計和數據分析單元集成為一個(gè)單元，所以其配置緊湊，僅由一個(gè)主單元和光纖組成。此儀器設計緊湊，節省空間，適合安裝進(jìn)用戶(hù)的系統中，可進(jìn)行多種目標的測量。此外，該儀器為無(wú)參照物測量，因此省略了煩人的參照物測量，可長(cháng)時(shí)間穩定地進(jìn)行高速、高準確度測量。
光學(xué)薄膜測量?jì)x的測量原理：
表面輪廓：
垂直于樣品表面的入射光，經(jīng)過(guò)表面反射后形成的反射角，會(huì )因表面輪廓的不同而產(chǎn)生變化。正是依據測量點(diǎn)之間反射角的變化，通過(guò)軟件重新計算并構建了樣品表面輪廓，實(shí)現了全自動(dòng)高精度的測量。
薄膜應力：
對于薄膜、單層或者多層鍍膜的應力，軟件主要依據理論，通過(guò)檢測鍍膜前后，基板曲率半徑的變化量計算得到。比如在半導體行業(yè)或者其他應用領(lǐng)域，當反射表面被加工處理后（鍍膜或者去鍍膜），操作人員能夠利用快速地對晶圓薄膜應力進(jìn)行檢測。
光學(xué)薄膜測量?jì)x的優(yōu)勢特征：
1、本測試儀特贈設測試結果自動(dòng)分類(lèi)功能。
2、可定制USB通訊接口，便于其拓展為集成化測試系統中的測試模塊。
3、8檔位超寬量程。同行一般為五到六檔位。
4、儀器小型化、手動(dòng)/自動(dòng)一體化。
5、操作簡(jiǎn)便、性能穩定，所有參數設定、功能轉換全部采用數字化鍵盤(pán)輸入，簡(jiǎn)便而且免除模擬定位器的不穩定。
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