光學(xué)薄膜測量?jì)x的原理： 當觸針沿被測表面輕輕滑過(guò)時(shí)，由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時(shí)，還沿峰谷作上下運動(dòng)。觸針的運動(dòng)情況就反映了表面輪廓的情況。傳感器輸出的電信號經(jīng)測量電橋后，輸出與觸針偏離平衡位置的位移成正比的調幅信號。經(jīng)放大與相敏整流后，可將位移信號從調幅信號中解調出來(lái)，得到放大了的與觸針位移成正比的緩慢變化信號。再經(jīng)噪音濾波器、波度濾波器進(jìn)一步濾去調制頻率與外界干擾信號以及波度等因素對粗糙度測量的影響。
根據使用傳感器的不同，接觸式臺階測量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。
光學(xué)薄膜測量?jì)x的主要特點(diǎn)：
真空壓差法測試原理；
三腔獨立測試；
三腔循環(huán)介質(zhì)控溫，各自獨立溫度傳感器實(shí)時(shí)監控；
智能模式，試驗過(guò)程全自動(dòng)，一鍵式操作；
真空泵自動(dòng)啟停，無(wú)需人工開(kāi)關(guān)；
氣體透過(guò)率、擴散系數、溶解度系數、滲透系數測試；
多種試驗模式可選擇，可滿(mǎn)足各種標準、非標試驗；
數據審計追蹤、溯源；系統日志記錄；
5級用戶(hù)權限管理；
溫度曲線(xiàn)、濕度曲線(xiàn)、壓差曲線(xiàn)、曲線(xiàn)獨立顯示、曲線(xiàn)疊加；
可支持DSM實(shí)驗室數據管理系統，能實(shí)現生產(chǎn)監控、數據統一管理。
光學(xué)薄膜測量?jì)x由測繪主機、測繪平臺、Y型光纖及上位機軟件搭建而成，核心器件采用高分辨率、高靈敏度光譜儀結合*的算法技術(shù)，為用戶(hù)提供的自動(dòng)光學(xué)薄膜厚度測量?jì)x。
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